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Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運用場合。質(zhì)量流量計和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR ...

Bronkhorst EL-FLOWSelect質(zhì)量流量計控制器的控制閥設(shè)計采用模塊化結(jié)構(gòu)，用戶可在設(shè)備安裝現(xiàn)場不做任何調(diào)整即可更換。標(biāo)準(zhǔn)通用的閥門是常關(guān)閥，Kv值可高達(dá)1.5 。也可根據(jù)客戶的要求提...

Bronkhorst FF-M1x緊湊型氣體質(zhì)量流量計適用于工作壓力在真空和17 bar(a)條件下準(zhǔn)確測量0…500 mln/min 和 0…20 ln/min之間的流量。

Bronkhorst FLEXI-FLOW氣體質(zhì)量流量計和控制器將快速穩(wěn)定的芯片傳感器與可靠準(zhǔn)確的旁路技術(shù)相結(jié)合。緊湊創(chuàng)新型儀表是質(zhì)量流量測量和控制領(lǐng)域的一次重大飛躍：質(zhì)量流量測控 #重新定義

Bronkhorst EL-FLOWPrestige氣體質(zhì)量流量計控制器作為Bronkhorst新一代熱式氣體質(zhì)量流量計/控制器，在通用性和用戶操作方便性方面具有突破性的變革與創(chuàng)新。

Alicat MCD雙閥雙向氣體質(zhì)量流量計控制器可以控制質(zhì)量流量,體積流量,或氣體壓力。雙向同時測量流量,壓力,溫度。

使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器配備氣動截止閥，可用于控制真空應(yīng)用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質(zhì)量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。可以控制腐...

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以同時控制質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時測量多達(dá) 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以在可用系統(tǒng)壓力非常小時（壓降低至 0.07 PSID）時控制兩個方向的質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質(zhì)量流量泵控制器很容易與現(xiàn)有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨的PID控制器即可實現(xiàn)自動化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。該精密控制器讀取質(zhì)量流量在40毫秒...

Alicat艾里卡特MBS耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計（便攜式）可測量 130 多種氣體的質(zhì)量流量和體積流量，包括 32 多種腐蝕性氣體，使其成為流動腐蝕性氣體過程的移動校準(zhǔn)、驗證和驗證的理想選擇。

Alicat艾里卡特MWB低壓損氣體質(zhì)量流量計（便攜式）測量質(zhì)量和體積流量,壓力降至0.07pid(4.8mb),用于沒有可用壓力的系統(tǒng)。

Alicat艾里卡特MBQ便攜高壓氣體質(zhì)量流量計在操作壓力下測量質(zhì)量和體積流量最高為320psIA(22bra)。