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PRECESS普瑞賽思遠(yuǎn)程等離子控制閥（V41系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的上游清潔進(jìn)氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。

PRECESS普瑞賽思高真空保護(hù)閘閥（V60系列）已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百種要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。它們已成為DN 63-320 mm尺寸的任何高壓隔離要求的標(biāo)準(zhǔn)。

PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21帶保溫套）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門開發(fā)的，可在閘門密封處提供可靠的密封而不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位...

PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列3位）通用于研究和工業(yè)中的超高真空隔離應(yīng)用。特別適用于泵的隔離。

PRECESS普瑞賽思高真空閘閥（V21系列）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的，在閘門密封處沒有任何摩擦。VATLOCK機(jī)構(gòu)還可以防止閥門故障，這要?dú)w功于關(guān)閉端位置的機(jī)械...

PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）配備了VATLOCK技術(shù)，該技術(shù)是專門為提供可靠的密封而開發(fā)的，不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦，從而避免了顆粒的產(chǎn)生。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）適用于半導(dǎo)體制造（SEMI）生產(chǎn)系統(tǒng)中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學(xué)氣相沉積等腐蝕性工藝。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學(xué)氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動(dòng)執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)的L型運(yùn)動(dòng)。在L型運(yùn)動(dòng)中，隔板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然...

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個(gè)真空室用于裝載或處理。因此，門的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對(duì)各自的應(yīng)用量身定制的...

PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門進(jìn)行 L 型運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在 L 型運(yùn)動(dòng)中，閘門垂直移動(dòng)到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...